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等离子清洗器清洗属于干法清洗，采用气相化学法去除材料表面污染物。气相化学法主要有热氧化法和等离子清洗法等，清洗过程就是将热化学气体或等离子态反应气体导入反应室，反应气体与晶片表面发生化学反应生成易挥发性反应产物被真空抽去。 等离子清洗器也叫等离子清洗机、等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体达到常规清洗方法无法达到的效果。